|
Графоэпитаксия
[Шефталь Н.Н., 1977; patterned substrate epitaxy] – ориентировка нарастающих к-лов на подложке с искусств. закономерным микрорельефом (искусств. эпитаксия). Может осуществляться при ориентированном гетерогенном зарождении к-ла в углублениях рельефа или при гомогенном зарождении к-ла с последующей ориентированной адгезией аналогично квазиэпитаксии.
|
