|
Травление кристалла
[etching of crystal] – преимущественное растворение к-ла (в т. ч. термич., химич. или электролитическое разложение) в дефектных уч-ках поверх., проявляющееся в виде фигур травления, форма которых определяется симметрией к-ла, составом травителя и условиями процесса, а также видом и концентрацией дефектов. Т. к. используется для выявления дефектов, определения их вида, а также для уточнения симметрии к-ла или определения ориентировки поверх.
|
