|
Фигуры травления
[etch figures] – ямки, образующиеся в дефектных уч-ках поверх. при травлении кристалла и проявляющиеся при относительно сильных недосыщениях. Форма Ф. т. отражает симметрию кристалла и используется для уточнения симметрии или определения ориентировки поверх. Она зависит также от состава травителя и условий процесса. Остродонные ямки образуются на дислокациях, а плоскодонные – на точечных дефектах к-ла. При высокой концентрации дефектов образуются ансамбли Ф. т. (борозды и пр.). Син.: ямки травления.
|
